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我司設(shè)計(jì)生產(chǎn)的RTP-1100快速退火爐，采用進(jìn)口紅外線加熱管加熱，造型新穎結(jié)構(gòu)合理，爐體和爐管可以自由滑動(dòng)，可實(shí)現(xiàn)快速升降溫。爐管內(nèi)尺寸130MM，可以直接放下5英寸的材料。試樣反應(yīng)區(qū)處在一個(gè)密閉的石英腔體內(nèi)，在完成生產(chǎn)工藝的同時(shí)，也大大降低了間接污染試樣的可能性；密封法蘭之間采用O型圈密封，以及卡箍快速鏈接，能有效地保證爐內(nèi)氣密性；當(dāng)爐管移出爐膛時(shí)冷確風(fēng)扇啟動(dòng)，可實(shí)現(xiàn)試樣的迅速降溫，滿足材料驟冷驟熱的實(shí)驗(yàn)要求；它主要適用于半導(dǎo)體器件研發(fā)及生產(chǎn)等領(lǐng)域，可滿足離子注入后的快速退火、歐姆接觸快速合金、硅化物合金退火，氧化物生長以及銅銦鎵硒光伏應(yīng)用中的硒沉積等快速熱處理工藝場合。

設(shè)備的性能符合客戶的使用要求，我們的售后工程師于11月16日上門安裝調(diào)試培訓(xùn)完畢，設(shè)備順利通過江蘇達(dá)安光電有限公司的驗(yàn)收。