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CVI-1200系統(tǒng)
關(guān) 鍵 詞:CVI系統(tǒng)、化學(xué)氣相沉積、擴(kuò)散試驗(yàn)
CVI-1200系統(tǒng)由高溫管式爐,真空壓強(qiáng)控制系統(tǒng),多通道高精度數(shù)字質(zhì)量流量控制系統(tǒng),過(guò)壓保護(hù)及冷凝等部分組成,可實(shí)現(xiàn)真空達(dá)0.1mbar混合氣體化學(xué)氣相沉積和擴(kuò)散試驗(yàn)。
型       號(hào):CVI-1200
品       牌:鉅晶
發(fā)貨周期:1-5個(gè)工作日
接受訂制:可按要求定制
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招商專線:13818702256
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主要用途和適用范圍:

CVI-1200系統(tǒng)由高溫管式爐,真空壓強(qiáng)控制系統(tǒng),多通道高精度數(shù)字質(zhì)量流量控制系統(tǒng),過(guò)壓保護(hù)及冷凝等部分組成,可實(shí)現(xiàn)真空達(dá)0.1mbar混合氣體化學(xué)氣相沉積和擴(kuò)散試驗(yàn)。

主要技術(shù)參數(shù):

SGL-1200L真空管式爐

雙層爐殼間配有風(fēng)冷系統(tǒng),有效保證外殼表面溫

日本技術(shù)真空吸附成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛,保溫性能好

加熱元件采用高電阻優(yōu)質(zhì)合金絲0Cr27Al7Mo2,經(jīng)久耐用,最高溫度可達(dá)1200

機(jī)器電源

AC220V50/60Hz;額定功率4kw

爐管

高純石英管,高溫下化學(xué)穩(wěn)定性強(qiáng),耐腐蝕,熱膨脹系數(shù)極小,能承受驟冷驟熱的溫度變化;

尺寸:Φ80*/1000mm

剛玉支撐架,有效保證料件處于溫區(qū)中心

法蘭及支撐

SUS304不銹鋼快速水冷法蘭,長(zhǎng)期水冷無(wú)腐蝕

一個(gè)卡箍就能完成法蘭的連接,放、取物料方便快捷

可調(diào)節(jié)的法蘭支撐,平衡爐管的受力支撐

包含進(jìn)氣、出氣、真空抽口針閥,KF密封圈及卡箍組合,4個(gè)密封硅膠圈等

加熱系統(tǒng)

加熱元件:0Cr27Al7Mo2

加熱區(qū)長(zhǎng)度:300mm

恒溫區(qū)長(zhǎng)度:150mm

工作溫度:≤1150

升溫速率:≤10/min

溫控系統(tǒng)

溫度控制采用人工智能調(diào)節(jié)技術(shù),具有PID調(diào)節(jié)、自整定功能

30段升降溫程序

測(cè)溫元件:N型熱電偶

恒溫精度:±1

超溫、斷偶故障警報(bào)及斷電保護(hù)

HQZ-

混氣系統(tǒng)

高精度質(zhì)量流量計(jì)通過(guò)數(shù)據(jù)接口連接電腦,配置軟件實(shí)時(shí)人機(jī)交互界面

四通道質(zhì)量流量控制,可同時(shí)通入四種不同氣體

內(nèi)置不銹鋼混氣箱,每路氣體管路均配有逆止閥

每路氣體進(jìn)氣管路配有不銹鋼針閥

流量規(guī)格:0~30SLM

控制精度:±1.0F.S

真空系統(tǒng)

采用德國(guó)vacuubrand MV2NT VARIO四級(jí)隔膜泵,無(wú)極調(diào)速,實(shí)現(xiàn)負(fù)壓的精準(zhǔn)控制

極限真空度可達(dá)0.1mbar

可長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)工作,無(wú)須擔(dān)心泵因過(guò)熱保護(hù)而中止實(shí)驗(yàn)

采用電容式陶瓷隔膜真空規(guī)+控制器,操作簡(jiǎn)單方便

配置氣體尾氣處理系統(tǒng)

冷凝系統(tǒng)

采用低溫恒溫槽,最低溫度可達(dá)-20

內(nèi)置不銹鋼真空冷凝灌,采用KF接頭,清理收集方便

槽內(nèi)冷液可外引,冷卻機(jī)外實(shí)驗(yàn)容器,也可在槽內(nèi)直接進(jìn)行低溫、恒溫實(shí)驗(yàn)


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