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CVD-1200系統(tǒng)
關 鍵 詞:化學氣相沉積,氣氛燒結、氣氛還原、鈦合金退火
CVD-1200系統(tǒng)由滑動式開啟式真空管式爐,混氣系統(tǒng),真空及壓力系統(tǒng)等組成。此系統(tǒng)燒結溫度可達1200℃,通過滑動爐體來實現(xiàn)快速的升降溫;配置不同的真空系統(tǒng)來達到理想的真空度;同時通過三路高精度質(zhì)量流量計控制不同氣體。
型       號:CVD-1200
品       牌:上海鉅晶
發(fā)貨周期:1-5個工作日
接受訂制:可按要求定制
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CVD-1200系統(tǒng)由滑動式開啟式真空管式爐,混氣系統(tǒng),真空及壓力系統(tǒng)等組成。此系統(tǒng)燒結溫度可達1200℃,通過滑動爐體來實現(xiàn)快速的升降溫;配置不同的真空系統(tǒng)來達到理想的真空度;同時通過三路高精度質(zhì)量流量計控制不同氣體。

技術參數(shù):

爐體結構

雙層爐殼間配有風冷系統(tǒng),有效保證外殼表面溫;

日本技術真空吸附成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛,保溫性能好

爐子底部裝有一對滑軌,移動平穩(wěn)

爐子可以手動從一端滑向另一端,實現(xiàn)快速的加熱和冷卻

支撐兩端安裝油壓緩沖器

爐蓋可開啟,可以實時觀察加熱的物料

電源

電壓:AC220V 50/60Hz;功率:4KW

爐管

高純石英管,高溫下化學穩(wěn)定性強,耐腐蝕,熱膨脹系數(shù)極小

尺寸:Φ40/60/80/100*1200mm

法蘭及支撐

SUS304不銹鋼快速法蘭,通過用高溫“O”型圈緊密密封可獲得高真空

一個卡箍就能完成法蘭的連接,放、取物料方便快捷

可調(diào)節(jié)的法蘭支撐,平衡爐管的受力支撐

包含進氣、出氣、真空抽口針閥,KF密封圈及卡箍組合

加熱系統(tǒng)

加熱元件采用優(yōu)質(zhì)合金絲0Cr27Al7Mo2,表面負荷高、經(jīng)久耐用

加熱區(qū)長度:440mm

恒溫區(qū)長度:200mm

工作溫度:≤1150

最高溫度:1200

升溫速率:10/min

溫控系統(tǒng)

溫度控制采用人工智能調(diào)節(jié)技術,具有PID調(diào)節(jié)、自整定功能30段升降溫程序

測溫元件:N型熱電偶

恒溫精度:±1

混氣系統(tǒng)

三路質(zhì)量流量計:數(shù)字顯示、氣體流量自動控制

內(nèi)置不銹鋼混氣箱,每路氣體管路均配有逆止閥

管路采用不銹鋼管,接口為Φ6卡套

每路氣體進氣管路配有不銹鋼針閥

通過控制面板上的旋鈕來調(diào)節(jié)氣體流量

流量規(guī)格:0~1SLM

流量精度:±1.5%

真空系統(tǒng)

采用雙極旋片真空泵,真空度可達5x10-1 Torr

數(shù)顯式真空壓力表

可選高真空系統(tǒng)及真空計,壓力控制系統(tǒng)等

可選配件

混氣系統(tǒng),中、高真空系統(tǒng),各種剛玉、石英坩堝,石英管,計算機控制軟件,無紙記錄儀,氧含量分析儀。


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